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アペックス株式会社(産業用電気機器)
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半導体製造装置の設計・開発を行うメーカー企業。 マイクロ波アッシングを始めとし、エッチング装置・薄膜抵抗測定装置・真空アライメント装置など多様な装置の設計・開発・製造を行う。
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